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什么是蚀刻机
或许在很多人看来,刻蚀技术并不如光刻机那般“”,但刻蚀在芯片的加工和生产过程中同样不可或缺。刻蚀机主要工作是按照前段光刻机“描绘”出来的线路来对晶片进行更深入的微观雕刻,刻出沟槽或接触孔,然后除去表面的光刻胶,从而形成刻蚀线路图案。
在芯片制造领域,光刻机像是前端,而蚀刻机就是后端。光刻机的作用是把电路图描绘至覆盖有光刻胶的硅片上,而蚀刻机的作用就是按照光刻机描绘的电路图把硅片上其它不需要的光刻胶腐蚀去除,完成电路图的雕刻转移至硅片表面。两者一个是设计者,一个是执行者,整个芯片生产过程中,需要重复使用两种设备,直至将完整的电路图蚀刻到硅晶圆上为止。
目前,我国在蚀刻机领域已达到-水平,尤其是中微半导体成功突破研制的5nm蚀刻机已于其它企业,而且得到了台积电的验证。真正面临技术挑战,也是被卡脖子的领域是光刻机。不过日前中科院-白春礼表示,已将光刻机等技术难度较高的产品列入科研清单,未来将集中力量对这些“卡脖子”的技术进行攻关。相信未来光刻机技术也会实现重大突破。
蚀刻机有很多种类,如双面、自动、不锈钢等,都有不一样的作用和特点。下面我们就来说说自动型蚀刻机它的特点,供大家参考。
据我们恒煜机械了解,现在市场上见到的自动型化学蚀刻机有这些特点:
1、大部分都是通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态进行对工件腐蚀以提高生产效率。
2、相对加大了喷淋与被蚀刻金属板的有效面积和蚀刻均匀程度,无论在蚀刻效果、速度和-操作者的环境及方便程度,都优于泼溅式蚀刻
3、 经反复实验喷射压力在1-2 kg/cm2的情况下被蚀刻工件上所残留的蚀刻圬渍能被有效清处掉,使蚀刻速度在传统蚀刻法上大大提高,由于该蚀刻机液体可循环再生使用,此项可大-低蚀刻成本,也可达到加工要求。
4、蚀刻材料常见的是钛板,钢、不锈钢、黄铜、铝、硅、铜等金属平板
5、一些细节如下
外形尺寸通常:2000×dao1120 ×1000 mm
加工面:≤宽shu600mm(长度不限)
工作形式:连权续进料、双面喷淋式
过滤形式:供液过滤+下料过滤
加热系统:钛合金防腐加热
工作温度:38-50度自动加热
蚀刻速度:无级调速
功 率:3.5kw/380v
控制系统:蚀刻开关、单双面蚀刻控制开关、自动温控、水平轮片传送无级调速